Мы специализируемся на производстве тонких пленок из монокристаллического ниобата лития и танталата лития и предоставляем профессиональные услуги по обработке.
Ионная имплантация
Энергия
35-400кэВ
Размер
2'', 3'', 4'', 6''
Ток луча
<1 мА
Тип ионов
Н+, Н2+, Н3+, Не+, Аг+
ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ:
Утончение пластин
Материалы
LN, LT, кремний и т. Д.
Размер
3/4/6 дюймов
Толщина
20~1000 мкм
ТТВ
<1 мкм
Ra
<0,15 мкм
ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ:
PECVD
Размер пластины
3''~6''
Толщина
0,5 мкм-5 мкм
ТТВ
<±5%
ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ:
CMP
Размер пластины
3''~6''
Материалы
LN, LT, Si, SiO 2 и т.д.
Солнце
<0,5 нм
ТТВ
<±3%
ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ:
Услуга по нарезке вафель
ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ:
Размер пластины
Материал
все виды пластин и электронных компонентов
все размеры ниже 6 дюймов